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        四(甲乙胺)鉿

        關(guān)鍵詞:

        關(guān)鍵詞:

        MO源領(lǐng)域、電子級碘甲烷和氫碘酸領(lǐng)域、高科技合成酸領(lǐng)域、多元醇酯類冷凍機(jī)油領(lǐng)域

        所屬分類:

        產(chǎn)品咨詢:

        產(chǎn)品描述

        中文名

        化學(xué)式

        CAS號

        英文簡稱

        英文名

        類別

        四(甲乙胺)鉿

        C12H32HfN4

        352535-01-4

        TEMAH

        Ethanamine, N-methyl-,hafnium(4+) salt (4:1)

        前驅(qū)體

         

          

        四(甲乙胺)鉿 (TEMAH)

        化學(xué)式

        C12H32HfN4

        中文名稱

        四(甲乙胺)鉿 

        英文名稱

        Ethanamine, N-methyl-,hafnium(4+) salt (4:1)

        CAS No.

         352535-01-4

        分子量

        410.9

        應(yīng)用

        主要用于CVD和ALD的前驅(qū)體材料,用于沉積鉿的前驅(qū)物,制備鉿氧化物薄膜;可以用于COMS和下一代DRAM的高k絕緣材料,廣泛應(yīng)用于45nm下直至7nm技術(shù)等先進(jìn)CMOS集成電路技術(shù)中。其應(yīng)用于新型阻變/憶阻器件(RRAM)研究中,可展現(xiàn)良好的微縮特性,還可在10nm尺度下保持良好的阻變特性;在鐵電存儲器件(FeRAM)、鐵電場效應(yīng)晶體管(FeFET)、鐵電負(fù)電容晶體管(NC-FET)、鐵電隧道結(jié)等新功能器件制造方面表現(xiàn)出良好的微縮特性,為類腦型神經(jīng)形態(tài)計算等變革性技術(shù)研究與發(fā)展提供新的途徑。還可替代二氧化硅,作為金屬-氧化物-半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(MOSFET)的柵極。

        產(chǎn)品規(guī)格

        6N(99.9999%)

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