硼酸三甲酯

關鍵詞：

MO源領域、電子級碘甲烷和氫碘酸領域、高科技合成酸領域、多元醇酯類冷凍機油領域

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產(chǎn)品描述

中文名	化學式	CAS號	別名	英文名	產(chǎn)能情況和庫存
硼酸三甲酯	C6H9BO3	121-43-7	TMB	Trimethyl borate	前驅體

硼酸三甲酯（TMB）
化學式	C6H9BO3
中文名稱	硼酸三甲酯
英文名稱	Trimethyl borate
CAS No.	121-43-7
分子量	103.91
應用	用作半導體擴散摻雜源，在硼硅酸鹽(BSG)和硼磷硅酸鹽(BPSG) 玻璃薄膜沉積中用作液相硼摻雜劑，以降低沉積玻璃的回流溫度。也用于高純硼的制備等。硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即摻雜了硼和磷的二氧化硅作為第一層金屬前介電質(PMD)以及金屬層間介電質(AVID)在IC制造中有著廣泛的應用。二氧化硅原有的有序網(wǎng)絡結構由于硼磷雜質(B2O3、P2O5 )的加入而變得疏松，在高溫條件下某種程度上具有像液體一樣的流動能力( Reflow )。因此BPSG薄膜具有卓越的填孔能力，并且能夠提高整個硅片表面的平坦化，從而為光刻及后道工藝提供更大的工藝范圍。
產(chǎn)品規(guī)格	9N（99.9999999%）